1. 產(chǎn)品簡(jiǎn)介

WH-HP-03多溫區(qū)烘膠臺(tái)是汶顥股份自主開發(fā)，具有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)，可以用于光刻工藝中的前烘、中烘和后烘，并具有分段式程控升溫。該設(shè)備采用PID控溫系統(tǒng)自動(dòng)測(cè)溫控溫，升溫速度快、溫度均勻、控溫精度高等特點(diǎn)，可長(zhǎng)時(shí)間持續(xù)穩(wěn)定工作。此儀器最大特點(diǎn)是具有3個(gè)溫控區(qū)域，可分別設(shè)定與調(diào)整不同的溫度，可同時(shí)/單獨(dú)工作，克服了一個(gè)溫控區(qū)域必須來(lái)回切換升溫/降溫的缺點(diǎn)。

2. 技術(shù)參數(shù)

2 烘膠溫度：室溫～300℃

2 持續(xù)烘膠時(shí)間：～15min以內(nèi)為宜

2 控溫精度：±1℃

2 溫度均勻性：＜±5%

2 烘膠板規(guī)格：φ130mm

2 參數(shù)設(shè)定：觸摸屏設(shè)置參數(shù)

2 控溫形式：PID控溫系統(tǒng)

2 電源輸入：AC220V±10V/50HZ

2 功率：1.5 KW

2 重量：21kg

2 外形尺寸：480（W）*580（D）*200（H）mm

3. 特征圖解

特征圖解1

特征圖解2

4. 操作說(shuō)明

（1）開機(jī)：接通電源，打開背面電源開關(guān)，觸摸屏點(diǎn)亮，進(jìn)入溫度顯示界面，多溫區(qū)烘膠臺(tái)進(jìn)入待機(jī)狀態(tài)。

（2）設(shè)定溫度：點(diǎn)擊觸摸屏的“參數(shù)設(shè)定”進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置界面，分別設(shè)置第一階段和第二階段前烘膠臺(tái)、左烘膠臺(tái)、右烘膠臺(tái)的溫度和保持時(shí)間。

（3）啟動(dòng)運(yùn)行：點(diǎn)擊參數(shù)設(shè)定界面的“確定”鍵，切換到主頁(yè)面，點(diǎn)擊觸摸屏的“啟動(dòng)”鍵，儀器切換到“啟動(dòng)”鍵進(jìn)入加熱狀態(tài)。

（4）停止加熱：點(diǎn)擊觸摸屏的“停止”鍵，儀器切換到“停止”鍵，風(fēng)扇開始運(yùn)作，多溫區(qū)烘膠臺(tái)停止加熱，進(jìn)入降溫狀態(tài)。

（5）冷卻關(guān)機(jī)：烘膠結(jié)束后，烘膠板還在高溫狀態(tài)，此時(shí)應(yīng)繼續(xù)保持通電一段時(shí)間，以便多溫區(qū)烘膠臺(tái)降溫冷卻，避免因關(guān)機(jī)時(shí)溫度過(guò)高造成儀器內(nèi)部損壞和使用人員燙傷，當(dāng)溫度降至50℃以下時(shí)關(guān)閉電源開關(guān)，并拔掉電源插頭。

5. 安全注意事項(xiàng)

拆開包裝后，請(qǐng)按照裝箱清單詳細(xì)檢查配件，如有缺失，請(qǐng)聯(lián)系銷售代表。注意必須將所有包裝和泡沫墊卸下，否則有可能因熱量不易散發(fā)或受到其它外界因素的影響引起火災(zāi)。

操作前請(qǐng)?jiān)敿?xì)閱讀本說(shuō)明全部?jī)?nèi)容，并嚴(yán)格按照要求依次進(jìn)行操作。若用戶因不規(guī)范操作或違規(guī)操作而導(dǎo)致的人身傷害事故、儀器損害、財(cái)產(chǎn)損失，廠家將不予承擔(dān)任何責(zé)任。

警告：

安置本儀器的桌（臺(tái)）面應(yīng)堅(jiān)實(shí)平整，四只橡膠腳墊應(yīng)與桌（臺(tái)）面平穩(wěn)接觸，否則會(huì)產(chǎn)生儀器不平穩(wěn)，影響硅片烘膠效果。

儀器工作時(shí)，操作人員不得倚靠在儀器上，非工作人員不得在非安全空間內(nèi)逗留，以免高溫燙傷。

放置硅片和拿取硅片時(shí)，請(qǐng)利用鑷子等工具，以免燙傷。

儀器出現(xiàn)故障應(yīng)及時(shí)切斷電源，并與銷售代表聯(lián)系，切勿自行打開機(jī)殼。

嚴(yán)禁非專業(yè)人員維修，維修時(shí)必須先拔下電源插頭，防止事故發(fā)生。