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WH-PXY-01 噴淋式顯影機 -
WH-PXY-01 噴淋式顯影機
- 型號WH-PXY-01
- 模式臺式自動噴淋顯影機
WH-PXY-01型顯影機是一種小型的實驗室用自動噴淋顯影機，適配7英寸以內(nèi)（含7英寸）基材，液量范圍10-500ml,最大轉(zhuǎn)速400RPM，最大顯影時間900s
產(chǎn)品簡介
噴淋式顯影機（WH-PXY-01）是汶顥股份自主開發(fā)的具有獨立知識產(chǎn)權(quán)的一款產(chǎn)品，針對光刻工藝中的顯影過程而設(shè)計開發(fā)的，可以對7英寸以下（含7英寸）規(guī)格的硅片進行程控式自動化顯影。該設(shè)備可完全替代微流控芯片制作過程中的手動顯影環(huán)節(jié)，克服了手動顯影過程中的顯影液加入量不可控、硅片顯影時間不可控、同規(guī)格硅片間隔顯影效果不可控，最大程度上減少操作人員人為因素導(dǎo)致的顯影質(zhì)量問題以及硅片的損壞。
技術(shù)參數(shù)
2轉(zhuǎn)速：0～400RPM；
2液量控制：10～500mL；
2適配硅片/芯片：≤7英寸；
2顯影時間：0～900s；
2進液速度：0～100%；
2電源輸入：AC220V±10V/50HZ；
2功率：100W；
2重量：20 kg；
2外形尺寸：410（W）* 410（D）* 350（H）mm；
2工作環(huán)境：溫度0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %；
特征圖解
特征圖解1
特征圖解2
裝箱清單
名稱 | 單位 | 數(shù)量 |
噴淋式顯影機機體 | 臺 | 1 |
液體瓶 | 件 | 1 |
廢液瓶 | 件 | 1 |
吸附盤3寸（適用4、5、6寸硅片） | 件 | 1 |
吸附盤1寸、2寸、6寸 | 件 | 選配 |
無油真空泵 | 臺 | 1 |
?6氣管 | 米 | 3 |
電源線 | 根 | 1 |
使用手冊 | 件 | 1 |
質(zhì)檢報告 | 件 | 1 |
合格證 | 件 | 1 |
保修卡 | 件 | 1 |
備注：如需了解產(chǎn)品價格及其他技術(shù)內(nèi)容可咨詢我司客服！
